郑伊健和梁咏琪
根据国内外电子制造业方面的挥发性有机物（VOCs）控制措施进展以及产品主要VOCs排放工艺和治理水平调查结果,从源头治理、末端治理、监测和台帐等方面分类别开展VOCs排放控制。控制方案主要措施包括使用高挥发性涂料,推广使用低挥发性有机原辅料,规范集气系统和治理设施,加强企业监测和台帐等监管和执法等。实施该控制方案后,深圳市电子制造业的VOCs共削减4200吨,约占深圳市2014年电子制造业排放的40.8%,具有良好的减排效益,对进一步提升深圳市质量具有重要作用。
通过文献调研，收集和整理国内外的VOCs控制措施进展，为我市电子制造业VOCs控制提供新的思和经验借鉴：通过走访相关行业协会和企业现场调研，了解我市目前电子制造业的vOCs排放工艺和治理水平;根据产品类型和工艺排放情况，分类别开展源头和末端治理控制方案设计，提出我市电子制造业VOCs污染控制措施方案。根据方案设计，分析重点行业VOCs减排效益，探讨电子制造业相关行业。
根据电子制造业产品和工艺特性，将电子制造业产品分为5大类：半导体集成电、液晶显示器(LCD)、发光二极管(LED)、印制电板(PCB)、电子终端产品。其中，半导体集成电制造是由原料晶圆片，经由不断的重复光学显影、蚀刻、薄膜沉积等步骤，最后经由封装而成。使用有机溶剂的工序有显影、蚀刻、薄膜沉积等.其中光学显影工序使用量最大，光阻涂布、显影、去光阻及清洗等单元均大量使用有机溶剂，如光阻剂稀释剂、清洗剂、以及光阻剂自身含有的溶剂组份。芯片封装工艺中上印区需用丙酮清洗以及调制印墨;TFT_LCD的制造工艺主要由阵列制备、彩色滤光片制备、液晶盒制备和模块组装等部分组成。TFT液晶面板生产排放VOCs污染物的工序主要集中在阵列工程和彩膜工程两大部分。阵列工程中的光刻(涂胶、和显影)，以及彩膜工程中的黑色矩阵BM膜制造、彩色矩阵膜形成、膜生成、MVA膜、PS(PHotoSpacer)膜生成是产生V0Cs的主要工艺：LEDVOCs主要排放工艺与LCD类似：印制电扳多数为单层、多层印制电板，柔性电板的发展也很迅速，产生的VOCs工艺环节相对较集中，主要为丝印和清洗过程。丝印环节涉及阻焊油墨(绿油)及文字油墨(白油)及其稀释剂的使用。印刷过程中油墨的稀释剂多为防白水(乙一：醇单丁醚)：电子终端产品划分为电子计算机类产品、通信类产品、家用视听类产品、仪器设备类产品和其它类产品。电子终端产品装配主要包括电子元器件准备齐套、印刷电板(PCB)表面安装、测试、老化、包装、整机装配和产品调试等工序。在电子终端产品制造中，VOCs的主要来源包括电板清洗剂有机废气、电板三防、机壳/机箱喷漆废气和机壳注塑废气。
为了加强对电子制造行业的VOCs控制，结合国内外的电子行业的控制措施和法规，本方案从源头治理、末端治理、监测和台帐等要求等方面开展全面控制和要求。其中新、改、扩建电子终端产品涂装项目使用高挥发性有机物含量涂料，鼓励已建电子企业使用低挥发性有机物含量原料(低挥发性涂料、环保型的清洗剂、显影液、光刻液和剥离液等)，加强涂料储存、输送和废弃涂料收集日常监管;规范集气系统和治理设施达到相关法规要求石角保集气收集率和治理效率不低于90%，最终VOCs浓度达标排放;定期按关规则完成有组织、无组织排放监测，开展电子制造业VOCs在线监测试点工作，建立并保留原辅料、治理设施运行等方面台账记录。控制方案具体措施见表l所示。
在各项措施实施后，该方案共削减O.42万吨VOCs，占20l4年我市电子制造业排放的40.8%，减排量约占全市VOCs总量的3-3%。可见，该方案实施为全市VOCs削减做出较大的贡献，有明显的减排效益。
(1)半导体集成电、LCD和LED等行业VOCs排放主要来源于光阻涂布、显影、去光阻及清洗等环节：印制电板行业VOCs排放主要来源于丝印和印版清洗环节：电子终端产品行业VOCs排放主要来源于清洗、喷漆和注塑等环节。
(2)从源头治理、末端治理、监测和台帐等方面开展方案设计，主要措施包括使用高挥发性涂料，推广使用低挥发性有机原辅料，规范集气系统和治理设施，加强企业监测和台帐等监管和执法。
(3)实施该控制方案后，深圳市电子制造业的VOCs共削减O.42万吨，约占我市20l4年电子制造业排放的40.8%，具有良好的减排效益，对进一步提升深圳市质量具有重要意义。
(4)大力推广电子终端产品水性涂料使用，半导体集成电、LCD/LED和印制电板等行业末端治理水平等行业则严控末端治理设施水平;加强企业排放监管，确保达标排放：加大科技投入，加强低挥发性涂料技术攻关和低成本、高效率VOCs治理设备研发。
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在各级对VOCs愈发重视的情况下，国家自上至下均出台了不少关于VOCs的整治方案，把VOCs列入总量控制指标的呼声不断，使我们不得不对他加以关注，但仔细查阅研究，却发现有好几个问题。
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